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微米尺度空間分辨率LIBS測試系統(tǒng)—MEEPLIBS
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空間分辨的元素分析，實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)的顯微鏡實(shí)現(xiàn)*結(jié)合，標(biāo)準(zhǔn)分析口徑大小為15微米和18微米（zui小可做到4微米），可在室溫大氣環(huán)境中測試，也可在特定的環(huán)境中測試。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、面板材料的微米尺度空間分辨率的實(shí)時(shí)元素分析。
系統(tǒng)特點(diǎn)：
光源：266nm紫外激光光源
具有配衰減器的激光光束整形功能，激光功率軟件可調(diào)
可實(shí)現(xiàn)探測系統(tǒng)的自動溫控
系統(tǒng)中配置攝像機(jī)，用戶可實(shí)時(shí)觀測測試的樣品區(qū)域
配置電動三維調(diào)節(jié)臺用來校準(zhǔn)激光聚焦位置、提高實(shí)驗(yàn)可重復(fù)性精度，可對樣品進(jìn)行序列測量
能分析測量包括質(zhì)量zui輕的所有元素
無須樣品預(yù)處理，快速檢測
