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冷CCD在微光顯微鏡(EMMI)的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2017/4/21 點(diǎn)擊次數(shù):3076

冷CCD在微光顯微鏡(EMMI)的應(yīng)用

半導(dǎo)體器件和電路制造技術(shù)飛速發(fā)展,器件特征尺寸不斷下降,而集成度不斷上升。這兩方面的變化都給失效缺陷定位和失效機(jī)理的分析帶來巨大的挑戰(zhàn)。對(duì)于半導(dǎo)體失效分析(FA)而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率高的分析工具。微光顯微鏡其高靈敏度的偵測能力,可偵測到半導(dǎo)體組件中電子-電洞對(duì)再結(jié)合時(shí)所發(fā)射出來的光線,能偵測到的波長約在350nm ~ 1100nm 左右。 它可以廣泛的應(yīng)用于偵測IC 中各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,如: Gate oxide defects / Leakage、Latch up、ESD failure、junction Leakage等。EMMI的工作原理圖如下:



由于加速載流子發(fā)光,即在局部的強(qiáng)場作用下產(chǎn)生的高速載流子與晶格原子發(fā)生碰撞離化,發(fā)射出光子,通常其光譜在可見光范圍內(nèi)有一個(gè)寬的分布( 650-1050 nm ),采用深度制冷的CCD相機(jī)可以拍攝到此現(xiàn)象。

            
先鋒科技公司代理的英國安道爾公司深度制冷CCD相機(jī),5年的真空封閉質(zhì)保期,免除了您對(duì)于售后造成的困擾,同時(shí)相機(jī)在近紅外區(qū)域具有好的信噪比,針對(duì)EMMI的應(yīng)用,主要推薦CCD相機(jī)如下:
                                                

型號(hào)

Clara

iKon M 934 BRDD

生產(chǎn)廠家

英國Andor公司

英國Andor公司

分辨率

1392*1040

1024*1024

zui低制冷溫度

零下45度

零下80度

像素尺寸

6.45um*6.45um

13um*13um

900nm量子效率

10%

65%

計(jì)算機(jī)接口

USB2.0

USB2.0

zui高幀速

11fps

2fps

是否含有EM增益

產(chǎn)品優(yōu)勢及建議應(yīng)用

具有軟件可選近紅外增強(qiáng)模式,很低的制冷溫度,適用于離線電致/光致熒光檢測

背感光芯片,具有zui高的量子效率及zui低的制冷溫度,是離線電致/光致熒光檢測的研究級(jí)產(chǎn)品

 

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